Profilometrul optic tridimensional realizează măsurarea de precizie la nivel de micrometru până la nanometru prin interferența luminii albe sau tehnologia confocală și analizează morfologia tridimensională, rugozitatea și conturul suprafețelor materialelor solide. Acest instrument are caracteristici de măsurare fără-contact, evitând deteriorarea suprafeței măsurate și este potrivit pentru diverse materiale, cum ar fi transparent/metal/reflexie ridicată. În domeniile producției mecanice, semiconductorilor, aerospațiale etc., profilometrele optice 3D sunt utilizate pe scară largă în controlul calității, monitorizarea proceselor și dezvoltarea produselor.
Până în 2025, modelele mainstream precum ZeGage Pro și SuperViewW1 vor avea atât performanță seismică, cât și capabilități de măsurare automată, cu precizie de măsurare care depășește nivelul de 0,1 nm. Funcțiile instrumentului includ analiza micro morfologiei, calculul curburii și detectarea caracteristicilor peliculei subțiri, care respectă standardul ISO 25178 și au devenit echipamentul de detectare de bază pentru producția modernă de precizie.
