Echipamentul RTP de oxidare și difuzie este un instrument de procesare termică de bază pentru semiconductori-combinând oxidarea, difuzia și recoacere într-o singură unitate robustă. Funcționează perfect cu siliciu, carbură de siliciu și alte materiale critice, manipulând plachete de până la 8 inchi și și-a câștigat o reputație pentru performanță fiabilă și control precis, care îndeplinește cerințele--de zi cu zi ale procesării semiconductoarelor.
Aplicații de bază
1. Producția în masă de dispozitive bazate pe siliciu-: este calul de lucru din spatele circuitelor integrate, IGBT și componentelor similare. Îl veți folosi pentru creșterea peliculelor izolatoare prin oxidare, pentru a stabili nivelurile de dopaj cu difuzie și pentru a elimina defectele prin recoacere-toate ținând pasul cu volumul-înalt de ieșire necesar în electronica de consum și controlul industrial.
2. Procesarea materialului cu bandgap-largă: acest instrument își iese cu adevărat în sine cu materiale avansate precum SiC și GaN. Vă permite să reglați concentrațiile de dopaj exact și să neteziți interfețele materialelor, ceea ce este esențial pentru realizarea de-piese de înaltă performanță-gândiți module de putere pentru vehicule cu energie noi care trebuie să facă față condițiilor dificile.
3. Cercetare și dezvoltare pentru semiconductori: universitățile și laboratoarele jură pentru flexibilitatea sa. Este o platformă cu mai multe-procese, care le permite cercetătorilor să treacă între oxidare, difuzie și multe altele fără probleme-perfectă pentru testarea de noi materiale, cum ar fi oxidul de galiu sau pentru a efectua experimente pentru a vedea cum se trezesc diferiți parametri.
Utilizatori ideali
1. Companii de producție-la scară largă: dacă produceți semiconductori pentru electronice de larg consum sau pentru vehicule cu energie noi, acest echipament este o necesitate-. Designul său all-într--unul reduce costurile suplimentare și menține fluxurile de lucru în mișcare, în timp ce performanța sa constantă asigură menținerea producției pe drumul cel bun, iar randamentele rămân constante-nicio oprire neașteptată nu vă va încetini.
2. Instituții de cercetare și universități: pentru echipele care sapă în noi materiale semiconductoare, acest instrument se potrivește. Se ocupă cu ușurință de experimente în loturi mici-, funcționează cu o gamă largă de materiale și vă permite să modificați parametrii procesului după cum este necesar-ajutând la accelerarea ritmului inovației fără a compromite rezultate.
3. Producători de dispozitive medii și mici: Dacă trebuie să jonglați comenzile personalizate cu producția pe lot, acest echipament este o alegere inteligentă. Funcționează cu mai multe materiale, astfel încât nu trebuie să cumpărați unelte separate pentru procese diferite, iar configurația cu 1-4 tuburi de proces vă permite să creșteți sau să reduceți capacitatea. Această agilitate este un mare plus atunci când încercați să rămâneți competitiv pe o piață în mișcare rapidă.
