V-ați săturat de echipamentele voluminoase care vă preiau laboratorul sau spațiul mic de producție? Sistemul RTP-100 RTP pentru desktop este construit pentru wafer-uri mici (maximum 6 inchi)-perfect pentru echipele care au nevoie de precizie fără a sacrifica suprafața pătrată. Este simplu, fiabil și adaptat nevoilor de zi cu zi ale cercetătorilor și ale producătorilor de loturi mici.
Ce ne place la ea
Se potrivește ca o mănușă: La 910 mm×860 mm×695 mm (L×A×H), se strecoară în colțuri strânse sau în bancuri de lucru aglomerate. Nu este nevoie să vă rearanjați întreaga configurație doar pentru a adăuga capacitatea de procesare termică.
Controlul temperaturii pe care te poți baza: Două moduri de a regla căldura-termocuplul pentru temperatura camerei de până la 800 de grade și pirometrul cu infraroșu pentru 500 de grade până la 1200 de grade . Încălzește napolitanele până la 150 de grade/s (mult mai rapid decât cu suporturile de SiC sau grafit, care limitează la 20-30 de grade/s). Și consistența? Mai puțin sau egal cu ±3 grade uniform sub 600 de grade, mai mic sau egal cu ±0,5% peste aceasta, plus repetabilitate de ±1 grad - astfel încât rezultatele dvs. să nu varieze de la lot la lot.
Fără{0}}operare agitată: Încărcarea/descărcarea manuală simplifică lucrurile (excelent dacă preferați controlul manual-), în timp ce un sonerie și lumini de avertizare vă anunță dacă ceva este oprit. Controlul PC-ului facilitează modificarea parametrilor,-nu este necesară o pregătire complicată.
Acoperă elementele de bază (și apoi unele): Gestionează vidul de până la 30 mTorr, menține oxigenul sub 3 ppm și acceptă până la 4 canale MFC. Indiferent dacă faceți recoacere prin implantare ionică, creșterea oxidului sau tratamente termice pentru mostre mici, acesta bifează toate casetele pentru procesarea termică rapidă de bază.
Pentru cine este
Acest lucru nu este pentru -fabricii la scară mare-, ci pentru tehnologia de laborator care execută experimente zilnice, pentru micul producător care produce componente personalizate sau pentru echipa de cercetare care testează materiale noi. Dacă lucrați cu napolitane mici și aveți nevoie de rezultate consistente fără bătaia de cap a echipamentelor de dimensiuni industriale-, acesta este pentru dvs.
Sfaturi rapide pentru utilizarea corectă
Comutarea modurilor de temperatură: Utilizați termocuplul pentru temperaturi de până la 800 de grade și treceți la infraroșu în software-ul PC pentru orice lucru mai fierbinte. Sistemul se calibrează automat-atingerea plăcută.
Încărcarea napolitanelor: Nu sări peste mănușile curate! Amprentele sau praful strică rezultatele. Manevrați ușor, fără cădere și asigurați-vă că este centrat pe suport-pași simpli care scutesc durerile de cap mai târziu.
Remedieri comune: Dacă soneria se stinge la pornire, verificați mai întâi dacă ușa cavității este încuiată etanș (toți am uitat asta!). Dacă viteza de încălzire nu atinge 150 de grade/s, asigurați-vă că nu utilizați un purtător-aceasta o încetinește. Și dacă napolitanele dvs. oxidează în mod neașteptat, verificați de două ori-vidul (ar trebui să fie mai mic sau egal cu 30 mTorr) și nivelul de oxigen (păstrați-l<3 ppm).
Întreținerea care contează: ștergeți camera de cuarț cu alcool săptămânal-murdăria se acumulează mai repede decât credeți. Verificați lămpile la fiecare 3 luni (înlocuiți după 1000 de ore) și inelele de etanșare lunar pentru fisuri. Ah, și nu lăsați răcirea cu apă să treacă peste 70 de grade -aceasta este o modalitate rapidă de a deteriora piesele.
Un cal de muncă solid
Certificat conform standardelor SEMI S2, acest lucru este construit pentru a rezista. Nu are caracteristici suplimentare spectaculoase pe care nu le veți folosi niciodată, dar atinge elementele esențiale: precizie, compactitate și ușurință în utilizare. Pentru laboratoarele și echipele mici care au nevoie de o soluție de procesare termică care funcționează, zi de zi, RTP-100 este o-lugărire. Nu este perfect (nimic nu este!), dar este de încredere - și asta contează atunci când încercați să mențineți experimentele sau producția pe drumul cel bun.
