Prezentare generală a produsului

Microscopul nostru de inspecție Wafer este un sistem de inspecție optică inteligent conceput pentru plachete semiconductoare, panouri de afișare, celule solare și alte aplicații industriale de precizie. Combinând imagini optice de înaltă calitate, control motorizat al mișcării, tehnologia autofocusului și funcții avansate de analiză a imaginii, sistemul oferă soluții de inspecție precise și eficiente pentru detectarea defectelor microscopice, analiza și analiza microscopului de înaltă performanță. și module de inspecție flexibile, Miracle Inspection permite utilizatorilor să observe, să măsoare, să localizeze și să marcheze defectele la nivel micro. Acceptă mai multe moduri de observare, inclusiv câmp luminos, câmp întunecat, polarizare, fluorescență și DIC, făcându-l potrivit pentru diferite cerințe de inspecție a materialelor și a procesului.

Avantaje

Imagini optice de-înaltă rezoluție

Sistemul folosește un microscop optic profesional pentru a oferi imagini clare și detaliate pentru inspecție și analiză precisă.

Autofocus și control motorizat

Modulul de autofocus și scena motorizată XYZ ajută utilizatorii să localizeze rapid zonele de inspecție și să mențină o focalizare stabilă în timpul funcționării.

Mai multe moduri de inspecție

Suportă câmp luminos, câmp întunecat, polarizare, fluorescență și moduri de observare DIC pentru a îndeplini diferite cerințe de inspecție.

Funcția de marcare a defectelor

Cu un modul opțional de marcare cu laser, defectele detectate pot fi marcate fizic pe probe pentru analize ulterioare și îmbunătățirea procesului.

Cusătura imaginii și fuziunea adâncimii câmpului

Funcțiile avansate de procesare a imaginii permit combinarea mai multor imagini într-o zonă mare-sau imagini complet focalizate, îmbunătățind eficiența inspecției.

Funcționare flexibilă și ușoară

Fluxul de lucru integrat combină funcțiile de imagine, măsurare, analiză și raportare, reducând pașii de operare manuală și îmbunătățind consistența inspecției.

Aplicație

Inspecția plăcilor de semiconductor

Inspecția defectelor de suprafață a plachetelor semiconductoare
Detectarea particulelor, zgârieturilor, fisurilor și modelelor anormale
Monitorizarea procesului de plachetă după litografie, gravare, depunere și CMP
Analiza defecțiunilor și revizuirea defectelor

Inspecție panou de afișare

Inspecția suporturilor din sticlă și a materialelor panourilor
Detectarea micro defectelor și controlul calității
Analiza modelului și a suprafeței

Inspecția celulelor solare

Inspecția de suprafață a plachetelor solare
Identificarea micro fisurilor și a defectelor
Evaluarea calitatii procesului

Cercetare și analiză de laborator

Analiza materialului
Observarea microstructurii
Măsurarea probelor și documentarea

Specificații

Articol	Caietul de sarcini
Tip de inspecție	Sistem de inspecție cu microscop optic
Aplicație	Placa semiconductoare, panou de afișare, celulă solară, materiale de precizie
Compatibilitate wafer	Wafer de 4 inchi / 6 inchi / 8 inchi (opțional)
Sistem optic	Sistem optic de microscop ZEISS
Moduri de observare	Câmp luminos, câmp întunecat, DIC, polarizare, fluorescență (opțional)
Focalizare automată	Sprijinit
Etapa de mișcare	Etapă XYZ motorizată
Precizie XY	Mai mic sau egal cu 2 μm
Precizia ajustării fine pe axa Z-	Mai mic sau egal cu 1 μm
Imagistica	Compatibil cu seria ZEISS Axiocam și camerele{0}}terte
Funcții de măsurare	Lungimea, unghiul, diametrul și măsurarea geometrică
Procesarea imaginii	Cusătura imaginii, fuziunea adâncimii câmpului, analiza imaginii
Marcarea defectelor	Modul de marcare cu laser a defectelor (opțional)
Manipularea napolitanelor	Modul de încărcare și descărcare automată (opțional)