Prezentare generală a produsului

Echipamentul desktop RTP Adaptabil la wafer-uri de dimensiuni mici-, echipamentul are un design compact și o plasare flexibilă. Controlul temperaturii acoperă temperatura camerei de la 800 de grade (termocuplu) și de la 500 de grade la 1200 de grade (pirometru cu infraroșu), cu o viteză maximă de încălzire de 150 de grade/s (numai napolitană). Uniformitatea temperaturii este mai mică sau egală cu ± 3 grade (mai mică sau egală cu 600 de grade) / mai mică sau egală cu ± 0,5% (> 600 de grade), iar reproductibilitatea este de ± 1 grad, asigurând un control precis al temperaturii. Utilizează modurile de încărcare/descărcare manuală și de deschidere/închidere a ușii, este echipat cu sonerie și lumini de avertizare și acceptă controlul PC. Echipamentele desktop RTP pot îndeplini cerințele de bază de procesare termică rapidă, cum ar fi recoacere cu implantare ionică și creșterea oxidului în cercetarea și dezvoltarea de laborator și scenarii de producție de loturi mici-.

Avantaje

Foarte adaptabil la spațiu: designul compact permite o amplasare flexibilă, necesitând spațiu minim și potrivit pentru laboratoare sau medii de producție în loturi mici-cu spațiu limitat.

Control precis și stabil al temperaturii: uniformitatea temperaturii atinge mai puțin sau egală cu ± 3 grade (mai puțin sau egal cu 600 grade) / mai mică sau egală cu ± 0,5% (> 600 grade), îndeplinind cerințele de precizie a temperaturii proceselor de bază.

Operare sigură și intuitivă: Echipat cu sonerie și lumini de avertizare, indică prompt starea echipamentului, reducând riscurile operaționale. Controlul PC-ului este acceptat, iar ajustarea parametrilor este convenabilă.

Bună adaptabilitate la procesele de bază: Suportă o presiune minimă de 30 mTorr și conținut de oxigen de<3ppm. With 4-channel maximum MFC, it meets basic vacuum and atmosphere requirements, adapting to various simple and rapid heat treatment scenarios.

Aplicații

Recoacerea cu implant ionic

Creștere simplă de oxid/nitrur

Pretratare cu aliaj de siliciu

Aliare preliminară de contact ohmic

Alte probe mici de tratament termic

Parametrii

Model	RTP-100
Dimensiune napolitană	6 inch și mai jos
Dimensiune	910mm×860mm×695mm(L×A×A)
Interval de temperatură	RT~~800 grade (Controlat de termocopul) 500 grade ~ 1200 grade (Controlat de pirometru)
Rata maximă de încălzire	150 de grade/s---Numai napolitană 20 de grade /s---purtător SiC 30 de grade/s---Acoperire purtător de grafit SiC
Uniformitatea temperaturii	Mai mic sau egal cu ±3 grade @ Mai mic sau egal cu 600 de grade Mai mic sau egal cu ±0,5% @ ＞600 grade
Repetabilitate la temperatură	±1 grad
Numărul de lămpi/SCR	29 ea / 10 set
MFC maxim	4
Cea mai mică presiune	30 mTorr
Rata de scurgere	10 mTorr/min
O₂Procent	＜3 ppm
Putere max/medie	60/ 36 Kw
Voltaj	380 V/ 60 HZ/ 3 faze 5 fire
Metoda de control	Control PC

FAQ

Se aude sonorul și lampa de avertizare se aprinde după pornire?

Mai întâi, apăsați „RESET” pentru a opri alarma. Verificați dacă ușa cavității este închisă etanș și dacă încuietoarea ușii este sigură. Dacă problema persistă, verificați cablajul senzorului de blocare a ușii.

Ce măsuri de precauție trebuie luate la încărcarea și descărcarea manuală a napolitanelor?

Purtați mănuși curate pentru a preveni contaminarea. Manipulați cu grijă napolitana pentru a evita coliziunile și asigurați-vă că este centrată pe suport.

Cum comut între controlul temperaturii termocuplu/pirometru cu infraroșu?

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800 de grade. Sistemul se va calibra automat după comutare.

Rata de încălzire nu este de 150 de grade/s (numai napolitană)?

Confirmați că nu există purtător (purtătorii SiC/grafit vor limita rata); verificați dacă toate lămpile funcționează corect. Componentele defecte necesită serviciu post{1}vânzare.

Uniformitatea temperaturii depășește ±3 grade (mai mică sau egală cu 600 de grade)?

Confirmați napolitana Mai mică sau egală cu 6 inci; verificați puterea lămpii în software, dacă este anormală, ghidul inginerului pentru reglaj-fin; curățați regulat camera de cuarț și apoi calibrați.

Oxidarea suprafeței plachetelor?

Verificați dacă vidul este mai mic sau egal cu 30 mTorr (dacă este insuficient, verificați dacă există scurgeri și înlocuiți uleiul pompei de vid); confirmați conținutul de O₂ < 3 ppm (dacă se depășește, înlocuiți butelia de gaz/verificați dacă există scurgeri în conductă).

Puncte cheie ale întreținerii zilnice?

Ștergeți camera de cuarț cu alcool săptămânal, verificați ansamblul lămpii la fiecare 3 luni (înlocuiți după 1000 de ore), verificați lunar inelul de etanșare pentru îmbătrânire, asigurați-vă că răcirea cu apă nu depășește 70 de grade.

Alarma de joasă presiune a echipamentului RTP pentru desktop?

R: Opriți procesul, verificați conducta de vid, reporniți pompa; dacă încă anormal, verificați rata de scurgere (dacă depășește 10 mTorr/min, localizați și reparați scurgerea).

PC-ul nu poate citi parametrii?

Verificați cablul de comunicație dintre echipament și PC, reporniți și încercați din nou; dacă încă nu există date, verificați cablajul senzorului sau contactați post{0}}vânzare pentru a verifica driverul software.

Cum să opriți echipamentul în caz de urgență?

Apăsați „EMO Emergency Stop” pentru a opri sursa de căldură și a deschide capacul; după ce eroarea este rezolvată, apăsați „RESET” pentru a reseta și a reporni.