Prezentare generală a produsului

Acesta este un instrument de proces de bază conceput special pentru realizarea cuptorului de oxidare umedă (dispozitive cu laser cu emisie de-cavități verticale-verticale (VCSEL)). Este construit pentru a face față atât nevoilor proceselor de dispozitive optoelectronice, cât și ale dispozitivelor semiconductoare-folosind tehnologie personalizată de oxidare a oxigenului umed, creează straturi dense de izolare optică și structuri de izolare electrică în VCSEL-uri. În plus, funcționează și pentru pasivizarea generală a suprafeței plachetelor, oferind suport cheie pentru proces pentru a crește performanța dispozitivului.

The Wet Oxidation Furnace big plus este un control de-înaltă precizie: uniformitatea temperaturii este de top-, reglarea vaporilor de apă este ușoară și consistența oxidării este solidă. Aceasta înseamnă că respectă cerințele stricte de stabilitate a procesului cerute de dispozitivele VCSEL-. De asemenea, este proiectat cu un sistem fiabil, funcționează constant și se potrivește perfect în scenariile de proces de precizie pentru producția de dispozitive optoelectronice. Fie că este vorba de cercetare și dezvoltare în loturi mici la instituții de cercetare sau de producție la scară mare-în întreprinderi, acesta răspunde acestor nevoi diverse-oferind suport de încredere pentru echipamente pentru progrese tehnologice și lansări de capacitate în domeniile legate de VCSEL-cum ar fi comunicațiile optice, detecția, lidar și multe altele.

Aplicațies

Fabricarea dispozitivelor VCSEL: Ca instrument de bază pentru producția laser VCSEL, creează straturi dense de izolare optică și structuri de izolație electrică prin procese adaptate de oxidare umed a oxigenului. Susține realizarea de-VCSEL de înaltă performanță utilizate în comunicațiile optice, detecția 3D a electronicelor de larg consum, lidar auto și în alte domenii.
Pasivarea suprafeței plachetelor: Funcționează cu procese universale de pasivizare a suprafeței plachetelor pentru dispozitive optoelectronice și semiconductoare. Optimizează starea suprafeței plachetelor, sporind fiabilitatea și durata de viață a fotodetectorilor și a senzorilor cu semiconductori.
Cercetare și dezvoltare a materialelor optoelectronice avansate: oferă o platformă experimentală stabilă și precisă pentru instituțiile de cercetare. Susține explorarea parametrilor procesului de oxidare umedă pentru noile materiale optoelectronice (cum ar fi materialele avansate pe bază de arseniură de galiu-) și ajută la avansarea-C&D în domeniul tehnologiei optoelectronice de vârf.

Avantaje

Control de proces de înaltă-precizie: Oferă o uniformitate excelentă a temperaturii, reglare ușoară a vaporilor de apă și consistență sigură a oxidării. Acest lucru asigură uniformitatea structurală a dispozitivelor VCSEL și evită variațiile de performanță cauzate de fluctuațiile procesului.

Fiabilitate ridicată a sistemului: prezintă o structură stabilă și un sistem de control matur pentru o funcționare constantă pe termen lung{0}. Îndeplinește cerințele procesului de precizie ale dispozitivelor optoelectronice și reduce timpul de nefuncționare din cauza defecțiunilor echipamentelor.

Compatibilitate puternică cu procesele: se concentrează pe oxidarea umedă VCSEL, susținând în același timp tratamentele de pasivare universale. Se adaptează la producția și cercetarea și dezvoltarea diferitelor produse, îmbunătățind utilizarea echipamentelor.

Garanție de randament ridicat: îmbunătățește izolarea electrică a dispozitivelor VCSEL și efectele de izolare a câmpului luminos prin controlul stabil al temperaturii, reglarea precisă a vaporilor de apă și procesele optimizate-scăzând eficient ratele defectelor.

Parametrii

Dimensiunea napolitanei	4-6 inci
Interval de temperatură	300 grade -500 grade
Proces aplicabil	VCSEL oxidare umedă
Precizia controlului temperaturii	Mai mic sau egal cu ±0,5 grade
Zona plată	250 mm
Uniformitatea oxidării	R Mai mic sau egal cu 1μm

FAQ

Acest echipament este folosit doar pentru fabricarea cuptorului de oxidare umedă?

Nu, nu se limitează la asta. Pe lângă procesul de oxidare umedă a dispozitivului VCSEL de bază, este, de asemenea, compatibil cu tratamentele generale de pasivare a suprafeței plachetelor pentru dispozitive optoelectronice și semiconductoare, adaptându-se la producția și cercetarea și dezvoltarea diferitelor produse.

Cât de precise sunt setările de reglare a temperaturii și umidității în ceea ce privește controlul procesului?

O uniformitate excelentă a temperaturii, o reglare convenabilă a umidității și o consistență bună la oxidare. Acesta asigură cu precizie uniformitatea stratului de confinare optică și a structurii de izolație electrică a dispozitivelor VCSEL, evitând impactul de performanță din cauza fluctuațiilor procesului.

Cât de stabilă este funcționarea echipamentului și poate satisface nevoile de producție în masă sau{0}}de cercetare-dezvoltare pe termen lung?

Adoptând o structură stabilă și un sistem de control matur, poate funcționa stabil pentru perioade îndelungate, reducând timpul de nefuncționare din cauza defecțiunilor. Îndeplinește cerințele continue de producție în masă ale întreprinderilor și nevoile experimentale-pe termen lung ale instituțiilor de cercetare.

Poate sprijini explorarea proceselor pentru materiale optoelectronice noi?

Da, oferă o platformă experimentală stabilă și precisă pentru instituțiile de cercetare, care sprijină explorarea parametrilor procesului de oxidare umedă a materialelor optoelectronice noi, cum ar fi materialele îmbunătățite pe bază de arseniură de galiu-, contribuind la cercetare și dezvoltare-de tehnologie de ultimă oră.

Există cerințe specifice pentru dimensiunea napolitanelor?

Se adaptează în principal la specificațiile comune ale plachetelor VCSEL și dispozitivelor aferente. Mai exact, poate oferi soluții de adaptare personalizate în funcție de cerințele de dimensiune a plachetelor din producția reală sau cercetare și dezvoltare ale utilizatorilor.

Tag-uri populare: cuptor de oxidare umedă, China producători de cuptor de oxidare umedă, furnizori